为满足近年来蓬勃发展的光学精密制造行业的面形测量需求,马尔提供用于测量透镜、反射镜等光学元件的面形误差的轮廓仪。可是您知道吗?马尔轮廓仪可是“多边形战士”,其作用并不仅限于此。

今天我们将以接触式轮廓仪MarSurf LD 260 Aspheric系列为例,看看它如何同时解决客户对光学面面形和非光学面的测量需求。

LD 260 Aspheric系列利用测针接触待测表面,通过感知测针在每个采样点上的高度信息,最终获得待测表面的面形信息。其硬件与马尔经典产品,轮廓仪MarSurf LD 260具有共通性。这是这台设备可测两类工件的首要先决条件。与普通轮廓仪的不同之处在于,针对光学行业的MarSurf LD 260 Aspheric系列具有更出色的避振性能和更高的系统集成度。它利用压缩空气将大理石平台时时保持在水平位。柜式机架内整合了计算机、控制器、操控面板和防尘罩,使之可用于生产现场。

除此之外,≤ 100 nm(2D轮廓)和≤ 200 nm(3D面形)的测量精度确保了这台设备能够满足大多数客户当前的使用需求。磁吸式测针设计让更换测针可在几秒内轻松完成,自动记录校准信息的测针内置芯片可避免频繁进行校准的麻烦。这一系列中的3D机型还能提供非球面的三维扫描。与双头测针搭配,还能测量面间偏心和倾斜!

软件层面,LD 260 Aspheric系列以广泛应用于马尔测量设备的MarWin软件为基础,除了提供专门针对光学行业常用面形测量和评估的AsphericLib,同步也提供用于轮廓、波纹度、粗糙度等分析的EasyContour软件。

用户案例

某客户是一家激光系统和光学器件的生产商,拥有超大生产厂房和雄厚的研发能力,自成立以来累积了众多专利,斩获诸多业内奖项。该客户于2022年采购了一台MarSurf LD 260 Aspheric 2D设备,使用以来,对设备的性能和我司提供的售后服务都颇为满意。

图1中,我们可以看到轮廓仪的样品台上摆放着一个非球面光学元件,该元件在光学系统中用于光束的准直。该客户测量完成后,通过图2可以看到,AsphericLib软件展示了非球面的差值轮廓曲线,多种符合ISO 10110-5标准的面形误差参数,比如PV值和Power值,以及各项非球面系数(包括曲率半径)的拟合值。图3-4展现的是该客户测量非光学件粗糙度时的中间过程和测量结果。

图1 光学元件的测量

  
图2 光学非球面元件的面形测量结果
 
图3 非光学件的粗糙度测量

 
图4 粗糙度的测量结果