坐标测量机以其高精度而适用于质量保证和过程控制等领域，选择适当精度的坐标测量机对用户来说是非常重要的。这样一方面不会因为精度选择过高而致使选购成本加大，同时也不会因为测量精度过低而影响对产品质量评定的水平。
坐标测量机作为一种高精度的测量设备，其精度指标无疑是最为关键，其中示值误差（E）和探测误差（P）是两个最主要的精度指标,要求：E<=MPEE P<=MPEP
注：MPEE为最大允许示值误差；MPEP为最大允许探测误差
由于测量机本身不是测量基准，为了保证测量结果的正确性，按照计量原则，通常测量示值误差应是零件公差指标的三至十分之一。根据多年的经验，长度测量的最大允许示值误差（MPEE）主要与尺寸距离、直径等元素的误差相关，而最大允许探测误差（MPEP）及最大扫描探测误差（MPETij）则一般影响到形状的测量。
