前言
芯片在生活中如影随形,扮演着举足轻重的角色。然而,芯片在生产及使用过程中可能会出现缺陷,如何发现这些缺陷呢?当下,有两种主要的检测方法可供选择,分别是高光谱检测和传统检测。
高光谱检测与传统检测在多个方面存在显著差异。从原理上看,高光谱检测基于物质对不同波长光的独特特性,通过获取芯片的多波段光谱和空间信息,进而识别缺陷特征。而传统检测主要依靠物理观察和电学测量等原理。
在技术特点方面,高光谱检测能够获取多波段信息,采用非接触式检测方式,并且可以快速成像。与之不同的是,传统检测操作相对简便,设备成本也较低。
就检测能力而言,高光谱检测对微小缺陷极为敏感,可有效检测复杂缺陷。传统检测则主要以表面缺陷检测为主,在面对复杂缺陷时往往力不从心。
综上所述,高光谱检测和传统检测方法各有千秋,我们可以根据实际需求灵活选用,以更好地发现芯片中的缺陷。下面我们就来了解一下高光谱检测芯片的实际案例。
实验目的
对芯片针脚氧化的缺陷检测
这是客户给我们寄来的样品,由于样品太小,需要加装微距环来进行拍摄,这样细节就可以拍的比较清楚
实验测试仪器列表
实验内容
1.在900-1700nm波段下对不同位置进行像素点进行选取
2.测试过程如图,分别选中不用位置,查看样品反射率曲线图谱
实验结果
900-1700nm下拍摄结果,可以看到单独一块芯片的四个针脚的光谱,其中第一个的位置反射率明显高于其他几个
软件截图4:
从RGB伪彩图中也可以看出,右下角芯片针脚存在黄变的颜色变化,在选择其光谱曲线查看时,也可以看出明显的不同