激光测量非接触式

测量精度高达0.01μm，分光干涉式超高精度厚度&位移计-SI系列

作者keyence 基恩士

1 月 5, 2024 #μm级, #在线自动, #质量控制, #车间现场

分光干涉式原理SI-系列

同时测量厚度和位移，测量精度高达0.01μm

通过对反射光的干涉光进行分析，既可测量与物体的距离，又可测量对象物的厚度。

一台可对应各种各样的场所和对象物*可测量范围

5μm~670μm（折射率n=1.5时）*分辨率0.01μm

指定想要测量的层，实现多层厚度内部测量

小光点测量，高精度描绘产品真实厚度轮廓

行业应用广泛，助力客户产品薄型、轻量化进行

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