使用过菲索激光干涉仪的小伙伴们，对这样的场景一定不陌生。没错，下图就是传说中，让人头疼的“振动波纹”。这些测试结果中奇怪的波纹，来自于环境中的振动。
机械移相式菲索激光干涉仪在移相采样过程中；压电陶瓷会推动标准镜，在光轴方向上作纳米级的精确移动。这时，对于标准镜参考面和样品表面组成的干涉腔，参考光和测试光的相位差会改变，这一过程就是“移相”。摄像头对于不同相位的条纹光强图进行采样，通过算法从多帧灰度图中，计算得出三维高度（相位）分布图。
理想状态下，机械移相是推动标准镜垂直于光轴作等距移动。在实际采样过程中，振动可能会使样品倾斜姿态改变，沿光轴位置也可能发生变化，正如下图所示。经典PSI移相算法，无法处理这些“相移误差”，所以在最终测试结果的“相位地图”中，出现了“振动波纹”。
QPIS方案可以解决这些问题。硬件上QPSI首先需要高帧频的摄像头，以缩短整个采样时间，尽量降低振动在整个采样过程中的影响。同时对于每一帧采样，快门开启的时间，将从毫秒减小到微秒量级；降低每帧采样快门开启过程中振动的影响，靠微秒级的快门“凝固”住每帧干涉条纹。
随着快门开启时间的大幅降低，摄像头探测到的光强会减弱；这样对干涉光源的功率提出了更高的要求。因此QPSI方案还基于功率更大，光强更强的稳频激光光源。
算法上，QPSI基于干涉条纹计算相位的时候，所用的数据模型，会考虑每帧振动带来干涉腔的变化，以此拟合计算，去除振动带来的影响。如图所示，理想的QPSI采样后的分析计算结果，可以良好地去除“振动波纹”。
下图比较了经典PSI模式，和QPSI模式，对于1-100Hz不同频率的振动，两种模式分别能够容忍的的最大振幅。
图上可以看到，在1-100Hz频率范围内，QPSI模式的抗振能力是经典PSI模式至少十倍。
QPSI抗振移相模式，并不是用来替代瞬态采样模式。极端振动或者有很强空气扰动的环境，并不适合QPSI模式采样。QPSI可以大幅降低环境振动的影响；同时它又保留了菲索式激光干涉仪最大的优势和特点，共光路干涉; 这使QPSI具有抗振能力的同时, 和经典PSI模式相比, 测试精度，横向分辨率，几乎没有损失。
ZYGO激光干涉仪全系列标准产品，都具备ZYGO独有的QPSI抗振采样模式，配合DynaPhase 动态采样，ZYGO系列标准激光干涉仪可以应对各种环境，从良好控制的实验室；振动明显的光学生产加工车间；直到极端振动和空气扰动的室外；达到测试精度，分辨率和测试环境的完美平衡。
QPSI模式现在还可以与波长调制采样模式结合，使波长调制主机同样也具有抗振调制能力。定制波长激光干涉仪，1um，1.5um，3.39um波长，也已经成功整合QPSI技术。