S neox Cleanroom 

可集成头无尘系统

S neox 无尘系统是光学计量领域的技术里程碑。它允许在苛刻的生产环境中实现多种方式的光学测量,且满足了在无尘室内生产线的测量需求。

S neox 采用4合1技术,将多功能性充分体现,除此之外,S neox 允许用户从37 种不同的物镜中进行选择,并可以使用 DIC 增强与表面缺陷的对比度。

S neox 无尘系统是一款通过精心设计的产品,它通过了严格的ISO 1 级无尘室的测试,以及静电放电(ESD)兼容性测试。

此外,兼容压电陶瓷驱动的Z向扫描为 S neox 提供了光学测量的更高性能的选择。它还涵盖从 50 nm 到 5 mm 的厚度测量。

S neox 无尘系统在测量各种样品时,充分展示出它多功能性的优势。我们的设备具有正确采集设置的功能:您只需在工件表面聚焦,其余的工作将由 S neox 无尘系统自动完成。