白光轮廓仪，基于无限远显微镜的光学设计，使用干涉物镜产生干涉条纹，使光学显微镜变为白光干涉轮廓仪；它以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸，典型结果包括：
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表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，台阶高度，锥角等等）
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几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积等等）
ZYGO提供广泛的物镜选择，从1X到100X，满足不同的测试需求。包括用于测量小视场范围内，高频微观形貌的高倍率物镜；以及用于测试低频大视场范围内，全局面形形貌的低倍率物镜。常见的有Mirau物镜、Michelson物镜。ZYGO还提供以下特殊设计的物镜，包括：
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长工作距离（LWD）和超长工作距离（SLWD）物镜，工作距离为20mm和40mm，适用于凹陷、沉孔的底部或难以接近的表面。
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GC物镜可用于测量在保护性透明窗片下的样品。
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专有的Zygo ZWF 1.4X物镜。
在所有物镜参数中，NA (数值孔径) 是最重要的参数之一。 光学显微镜系统的分辨率是由物镜决定的，物镜的分辨率又是由它的NA (数值孔径)和工作波长决定的。 NA (数值孔径) 描述了物镜光锥角的大小，表示如下：NA = n * sin α 由此可以看出，NA越大，分辨率越高；那是不是对于物镜而言，是否NA一定越大越好呢？
其实某些特殊的应用场景，小NA值的物镜反而更有优势。ZYGO 22X物镜就具有小NA值的特点，专门用于高深-宽比的孔/槽测量。
▲20X物镜和22X物镜参数
如图所示，高NA值的物镜，其大光锥角造成在测量高深宽比结构时，大部分的信号丢失了，这时小NA值，窄光锥角反而更有优势。ZYGO 22X物镜即专为这一应用场景设计的。
基于22X物镜，高深宽比的孔/槽测试结果
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