S neox Grand Format：大尺寸样品三维测量

S neox Grand Format：

大尺寸样品三维测量

S neox Grand Format 为半导体等行业大尺寸产品的表面三维测量提供了从硬件到软件的完整解决方案。

S neox Grand Format 的核心是S neox Cleanroom 传感器，它集成了 Sensofar 的三种不同测量技术，可满足各种应用需求。

其闭环 XY 龙门架设计支持着测量头的无限的测量能力，不受样品重量的限制，可在 600 x 600 毫米的广阔区域内实现快速移动和采集速度。

您可以安心使用，该系统经过精心设计，符合 SEMI S2 和 S8 等多项行业标准，并通过了德国莱茵 TÜV 认证。

其无尘测量头 S neox Cleanroom 提供三种不同的光学技术：干涉，共聚焦，Ai多焦面叠加。可针对每个特定样品使用适合的技术进行成像，实现亚纳米级精度。

干涉

测量传感器符合 ISO 1 级标准。

机身由不锈钢制成，可减少微粒排放。

此外，我们还为您提供一体化软件解决方案，内置采集软件，该测量工具由易于使用的 SensoSCAN 控制，它为测量自动化提供了更多且更强大的功能。