Sensofar ePSI技术如何实现高精度表面测量？
ePSI 结合了两种干涉测量技术，CSI（白光干涉） 和 PSI（相移干涉），在具备数百微米的高度扫描范围的同时，也能拥有0.1 nm的高度测量分辨率，从而克服这两种测量方式本身的技术限制。
ePSI不仅提供了PSI的亚纳米级精度，还通过CSI技术扩大了测量范围。
Sensofar ePSI技术特别适用于需要高精度和宽范围测量的应用，如半导体、精密光学部件、膜厚和材料测试等领域。
结合CSI和PSI技术，ePSI能够提供更全面、更准确的表面形貌数据，从而帮助用户提供了有效的解决方案。