相移干涉（PSI）
Sensofar PSI技术如何实现高精度表面测量？
对于所有数值孔径 (NA)，开发了相移干涉法(PSI)，以亚埃分辨率测量超光滑和连续表面的表面高度。您可以使用极低的放大率 (2.5X) 测量具有相同高度分辨率的大视场。
采用干涉法，3D 测量能以高精度进行。可沿 Z 轴扫描，在整个样本上获得条纹，分别从 PSI 或 CSI 的干涉图强度或相位获取高度信息，用获取的不同像素的高度重新构建 3D 图像。
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